Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

После напыления металла на кермическую подложку она (подложка) деформируется. Есть деформации допустимые и недопустимые. Недопустимые - это когда подложка настолько "кривая", что не всегда захватывается вакуумными присосками столов и пневмозахватов различного автоматического оборудования в процессе фотолитографии.

Подложка бьётся, оборудование нужно останавливать, чистить (процесс идёт, кстати, в читых комнатах) да и сама подложка если она разбивается или трескается в конце процесса нанесения множества слоёв металла и диалектрика стоит немало.

Есть прибор, который с помощью лазера очень точно измеряет кривизну подложки в девяти (шестнадцати, двадцати пяти точках), но это занимает очень много времени.

Не нужно решать глобальную задачу о недопущении деформации подложки в процессе металлизации. Процесс напыления металла идёт в глубоком вакууме и не стоит вмешиваться в этот процесс. Тем более, что количество "кривых" подложек не такое уж большое. Как их (подложки) быстро и эффективно отбраковать?

Форумы: 

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Вакуумными присосками же и проверять кривизну. Присосать подложку и попробовать оторвать. Что оторвется - брак. Только вауума поменьше напускать, чтобы кривая пластина отрывалась полегше.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Попробовали. Если бы дело шло о вакуумных присосках столов - идея бы сработала, но с захватами, которые переносят подложку с одного вакуумного стола на другой в рамках полностью автоматизированного процесса это не срабатывает.
Захват "присаывает" квадратную подложку за край. Площадь маленькая. Если подложка слишком кривая - её концы могут оказаться почти на миллиметр выше присоски захвата. Она, кстати, без резинки и не может перемещаться вертикально - такая конструкция.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Захватом при проверке притянется и кривая и ровная подложки, а в установке для нанесения фоторезиста, например, нет.
При этом вакумный столик не захватит слишком кривую подложку, а относительно ровную захватит, слегка сдеформировав. Но эту слегка сдеформированныю подложку не может захватить захват, чтобы перенести со столика на столик или со столика в касету.

P.S. Сама идея проверки/отбраковки с помощью той же вакуумной присоски - хорошая, Жаль, что не совсем рабочая.
Кстати, делались также попытки модернизировать столики и захваты таким образом, чтобы они захватывали и кривые подложки. В частности на них устанавливали уплотнения, чтобы деформация мягкого уплотнения компенсировала деформацию подложки и чтобы вакуум был сильнее. Брак и простои сократились, но незначительно.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Gregory Frenklach wrote:

После напыления металла на кермическую подложку...

Слой металла сплошной? Не рисунок? Если да, то, скорее всего он получается как зеркало. Светим на него лучом. Если отражается точно в фотоэлемент, значит прямая, если мимо - кривая.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Действительно зеркало. Идея красивая, но я этого не пробовал и, поэтому, не могу сказать сработало бы или нет. Опять же нужен не просто луч, а луч лазера. Вот что пробовал - это попытку превратить подложку с металом в одну из обкладок этакого конденсатора и измерять разницу в ёмкости. Идея вроде тоже красивая и теоретически правильная, но не сработала. Может если бы провёл серьёзную исследовательскую работу - всё бы и получилось...
Короче, контрольный ответ другой.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Коллеги,
Я бы хотел уточнить один момент. Предлагаемые решения должны удовлетворять четырём классическим требованиям ИКР:
1. Устранять нежелательный эффект;
2. Сохранять или даже усиливать положительный эффект;
3. Не усложнять (или незначительно усложнять - всё таки реальные задачи из реального мира) систему;
4. Не вызывать (или вызывать очень незначительные - всё таки реальные задачи из реального мира) дополнительные нежелательные эффекты;
Спасибо!

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Они почти всегда будут укатываться - все пластины чуть-чуть кривые, но только некоторые кривые недопустимо. Будете скорость скатвывания шариков (роликов, капель) измерять?:)

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

assk wrote:

А если вместо идеальных шариков взять неидеальные многогранники? Которые будут укатываться только при превышении определенного угла?

Как идея - пойдёт, но решение, по-моему не очень работоспособно и усложняет процесс.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Сделать измерительную пластину с подвижными штырями, расположенными квадратно-гнездовым способом перпендикулярно пластине. Перед измерением штыри выровнять. Для измерения приложить измерительную пластину к измеряемой, чтобы штыри выдвинулись. Визуально обозначить на штырях "красные" зоны превышения кривизны.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Ладно. Производственного решения я вряд ли дождусь.

Положите подложку выпуклостью вверх на ровную плиту. Кривизна в данном случае - это высота над плитой. Если с двух сторон от подложки на плите есть этакие ступеньки, определяющие величину допустимой кривизны подложки можно определить выходит ли подложка за пределы "ступенек" множеством способов - от определения есть ли контакт с ровной плитой, лежащей на "ступеньках" до определения есть ли оптический зазор. Не совсем "проходит <-> не проходит", но близко.
По-моему, эта задача едва дотягивает (если дотягивает) до второго уровня.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

"Положите подложку выпуклостью вверх".

Хотелось бы всё-таки видеть в условии задачи, что деформация-то одна, в форме выпуклости и видна невооруженным взглядом. И всего-то надо высоту горба измерить. А то лазером надо мерить кривизну в 25 точках. Хех.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Так ведь с помощью лазерного прибора и измеряли.
По поводу выпуклостью вверх - я просто так написал. Это не так уж и важно, как не важно один горб или несклько ( иногда несколько - поэтому столько точек) - нас интересует максимальная деформация. Это принцип замены измерения обнаружением.

Мне просто надоела "угадайка" и для этой (простой) задачи я решил её прекратить, дав идею решения.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Как я понимаю, контрольный ответ "достаточно измерить макс.деформацию". И как он следует из условий задачи, если это только практикой проверяется? Какие стандарты/алгоритмы применили для решения?

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Контрольный ответ, кстати, тоже особо ничего не решает. Теперь возникает вопрос, а какой предельный уровень "макс.деформации" надо выставить? Потому что по-любому с таким упрощением будут ложноположительные и ложноотрицательные измерения. откуда переходим к статистике, цене ошибки и т.п. Компромисс. К тризу отношения не имеет.

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

Это решение было внедрено с небольшой инженерной доработкой - регулируемая высота "ступеньки" за счёт набора точных прокладок. Это в любом случае надо было сделать, поскольку все подложки разной толщины и допустимые деформации у них (как оказалось) тоже разные. Я просто не хотел этими дополнительными условиями "грузить".

Re: Нечего на вакуум пенять коли подложка крива

Изображение пользователя Gregory Frenklach.

andyudol wrote:

Кольца Ньютона. Положить на керамическую пластину стеклянную и посветить на неё перпендикулярно верхней поверхности.

Тежеловато будет измерить кривизну и лучше сработает линза, но наверное можно было бы построить такой прибор. Как и в случае прибора для измерения ёмкости, степени искажения поверхности зеркалом металла и т.д.

Subscribe to Comments for "Нечего на вакуум пенять коли подложка крива"